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[求助] TSMC018 BCD Gen-3工艺,有正电源也有负电源,晶圆P-SUB是否可以接0V?

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发表于 2023-2-8 16:03:04 | 显示全部楼层 |阅读模式

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在TSMC018 BCD Gen-3工艺中,讲到HV NMOS时,提到P+ isolation ring must be connected to the most negative voltage.


这里的“P+ isolation”实际上就是晶圆的P-SUB。如果我有正电源、也有负电源,晶圆P-SUB是否可以接0V?还是按手册所说要接
负电源(the most negative voltage)?

目前的处理办法是,P-SUB接0V,如果NMOS或者PMOS在负压域,就用6端器件(NBL将器件与P-SUB隔离开),不知这样是否ok?


发表于 2024-7-8 09:50:01 | 显示全部楼层
同问
 楼主| 发表于 2024-7-15 10:58:44 | 显示全部楼层


后面设计中,将P-SUB接负电源。
发表于 2024-7-15 19:46:29 | 显示全部楼层
可, 但是自己要check 每個元件都有在Isolation ring內
 楼主| 发表于 2024-7-16 10:38:33 | 显示全部楼层


DD_cebelas 发表于 2024-7-15 19:46
可, 但是自己要check 每個元件都有在Isolation ring內


嗯,0~正压的要环内,负压~0的就不用了
发表于 2024-7-17 09:38:18 | 显示全部楼层
建议还是将Psub接最低电位。
 楼主| 发表于 2024-7-17 15:27:20 | 显示全部楼层


doubichen 发表于 2024-7-17 09:38
建议还是将Psub接最低电位。


试过将Psub接0V,会有一些风险,后面就直接接负压了。只是有些IP,还有数字core需要自己加环。
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