为何有些MASK是4x,有些是5X

ccn87569214 · 发表于 2023-1-30 11:20:55

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在看文档的时候看到mask tooling手册里对mask的描述，为啥有些mask的是4x ,而有些mask是5x, JDV图形上也是。
4x 和5x代表什么，有大神科普一下么

愿粥有人温 · 发表于 2023-1-30 11:57:03

4x5x分别代表放大了4倍5倍，JDV回来时我们一般会检查是否有错位或者距离有问题，通过JDV图形与版图比较

ccn87569214 · 发表于 2023-1-30 14:44:58

愿粥有人温发表于 2023-1-30 11:57
4x5x分别代表放大了4倍5倍，JDV回来时我们一般会检查是否有错位或者距离有问题，通过JDV图形与版图比较 ...

谢谢大神，继续问，为啥有些要放大4 有些要放大5，和什么有关系呢？

xdgua · 发表于 2023-1-30 16:10:31

同问

愿粥有人温 · 发表于 2023-1-30 18:13:40

ccn87569214 发表于 2023-1-30 14:44
谢谢大神，继续问，为啥有些要放大4 有些要放大5，和什么有关系呢？

工厂的发给你的邮件会告诉你哪些是4x哪些是5x，

Ming忄zhe · 发表于 2023-7-27 08:50:39

ccn87569214 发表于 2023-1-30 14:44
谢谢大神，继续问，为啥有些要放大4 有些要放大5，和什么有关系呢？

光刻机机台的问题，放大一般出现在Stepper光刻机上，比如尼康i9/i12 都用的x5的掩模版，所以，光罩厂会放大5倍做mask 是根据fab不同的机台决定不同的倍数。
有种是scanner扫描光刻机，做的mask一般都是x1，可以去网上了解一下这两种工作原理。

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