想问一下sti层在哪里？

danalog · 发表于 2023-1-17 14:48:56

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大家好，初学设计，现在画版图，有一个问题。在深亚微米工艺中，STI无处不在，但是画版图的时候并看不到STI层。STI的区域是自动识别生成的吗？但是我就看不到。还有DRC的部分距离规则也是为了做STI留出间隙？
还有STI有多宽多厚啊？这些在我画版图的时候并不知道

seafly2009 · 发表于 2023-1-17 15:12:28

没有AA的地方就是STI

u12u34 · 发表于 2023-1-17 15:37:02

STI mask 就是AA层的反板。AA就是没有STI的地方。

danalog · 发表于 2023-1-17 16:20:46

seafly2009 发表于 2023-1-17 15:12
没有AA的地方就是STI

thank you

andyfan · 发表于 2023-1-17 17:39:21

STI shallow trench isolation，浅槽隔离；

其实就是你画的AA/ACT的，取反就是了。

[求助] 想问一下sti层在哪里？