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[求助] SMIC 0.18 BCD工艺仿真

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发表于 2023-1-13 17:02:11 | 显示全部楼层 |阅读模式

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最近刚开始用BCD工艺,有大佬知道里面的LDMOS为什么有栅极电压限制吗?
屏幕截图 2023-01-13 165039.jpg

这个是有5V的限制警告
屏幕截图 2023-01-13 165058.jpg
这个是管子的剖面图:
屏幕截图 2023-01-13 165154.jpg
发表于 2023-1-13 17:22:44 | 显示全部楼层
LDMOS的GOX复用5V MOS,承诺的最大电压只有5.5V。当然是可以再高,但是需要根据电压和总面积依照TDDB模型推算寿命
发表于 2023-1-14 10:54:21 | 显示全部楼层
LDMOS能用于高压的地方不是栅级,LDMOS因为引入了漂移区,他的drain端能承受高压,其源端和栅端耐压能力不强。所以VGS很低,VGD和VGS很高。这和器件结构有关,所以LDMOS不能反着用。
发表于 2023-2-9 13:37:01 | 显示全部楼层
漏极有漂移区,可以耐高压;栅极没有变化,依然还是栅氧层,相当于正常的电容,高压自然击穿不能用了。不过有thick oxide的管子,就可以接高压
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