请教个SMIC180BCD工艺方面的问题

wk374707617 · 发表于 2023-1-9 11:52:05

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SMIC180BCD工艺中用到了p poly电阻，现在想要改版需要用到dummy电阻，但是pdk中自动补的dummy电阻少了RESP1,RESP3T,RESCKT这三层，我们改版只想改metal以上层次，请问下这三层对前端的mask有没有影响

ICstudy_zhao · 发表于 2023-1-9 15:05:21

个人认为没有影响，RESP1,RESP3T,RESCKT都是电阻的标志层，在实际芯片中，dummy的POLY 才是起到调整环境一致作用的层。

钮祜禄寇 · 发表于 2023-6-26 14:51:25

借楼问下你的smic18 BCD工艺后仿提取寄生用的是啥

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