EMIR，redhawk

韩冰蛋 · 发表于 2022-12-17 10:24:39

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想请问下大家，使用redhawk软件的时候EM达到多少是可以接收的？500%？900%？，我看项目的EM peak模式下普遍超过了100%，这样的数据会有问题嘛？

Winnie_Amao · 发表于 2022-12-19 15:52:31

这个要看process的，一般dynamic mode 下peak的要求是100%吧。

韩冰蛋 · 发表于 2022-12-20 11:01:08

Winnie_Amao 发表于 2022-12-19 15:52
这个要看process的，一般dynamic mode 下peak的要求是100%吧。

我们是华虹的110nm下的工艺，虽然EMIR不是特别重要，但是还是想先跑通流程，看看哪里有没有问题。
那个标准的确是100%，超过100%的都标红了

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