BCD NBL

aixingril · 发表于 2022-11-25 18:15:58

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该工艺是5V/18V/24V/..../40V BCD工艺,从design rule看，PWELL（5V）需要自己画，不会通过NWELL（5V）取反得到。
如图所示从layout PCell图示看，pchi（5g5Vds）的衬底端是PWELL，nchi（5g5Vds）的衬底区域没有PWELL，只有P型衬底接触。
请注意，pchi和nchi的layout PCell都有NBL（蓝色框）。

从电气连接上看，nchi的衬底通过P型接触连接到源端的vss电位。
请问各位网友，从工艺制造上理解，nchi的衬底区域是什么？
NBL上的黑色区域没有PWELL，只有P型接触，其余黑色区域是什么？这片黑色区域会受到NBL N注入影响吗？
导致本人对其nchi Symbol的二极管符号，也不是非常理解。

aixingril · 发表于 2022-11-25 18:19:26

张2018 · 发表于 2022-11-29 08:57:39

这是全隔离器件吧，外面大圈套小圈都是隔离环，具体器件结构得看中间是怎么做的。N管应该是直接做在Psub上的

aixingril · 发表于 2022-12-1 20:01:52

本帖最后由 aixingril 于 2022-12-1 20:07 编辑

张2018 发表于 2022-11-29 08:57
这是全隔离器件吧，外面大圈套小圈都是隔离环，具体器件结构得看中间是怎么做的。N管应该是直接做在Psub上 ...

谢谢提醒，如果没有NBL应该是直接做在PSUB上。可是这个有NBL的，请问PSUB上面长NBL，NBL长完往上依然是P型的吗？

张2018 · 发表于 2022-12-2 07:19:20

aixingril 发表于 2022-12-1 20:01
谢谢提醒，如果没有NBL应该是直接做在PSUB上。可是这个有NBL的，请问PSUB上面长NBL，NBL长完往上依然是P型 ...

NBL是埋层，它是比较深的，表面依然是Psub，只是说它把表面的P和底下的Psub隔离开了而已

张2018 · 发表于 2022-12-2 07:24:24

aixingril 发表于 2022-12-1 20:01
谢谢提醒，如果没有NBL应该是直接做在PSUB上。可是这个有NBL的，请问PSUB上面长NBL，NBL长完往上依然是P型 ...

你可以想象一下，nbl和周围一圈n阱形成了个类似于盆的结构，把中间的表面Psub以及做在它上面的器件盛起来了，从而达到全隔离的效果

aixingril · 发表于 2022-12-6 09:51:23

张2018 发表于 2022-12-2 07:24
你可以想象一下，nbl和周围一圈n阱形成了个类似于盆的结构，把中间的表面Psub以及做在它上面的器件盛起来 ...

谢谢啊，我明白了，盆里面依然是Psub

note30933 · 发表于 2022-12-6 10:36:02

学习了

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