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[求助] 有没有可以加热到2000度,有真空条件,能通Ar气体,放置6寸晶圆的炉子?

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发表于 2022-10-28 14:27:00 | 显示全部楼层 |阅读模式

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求资源推荐,有没有可以加热到2000度,有真空条件,能通Ar气体,放置6寸晶圆的炉子?
发表于 2022-11-15 21:12:32 | 显示全部楼层
很多三手机器,修修就能用。最早在ibm Bollingen厂用的。
 楼主| 发表于 2022-12-1 09:24:40 | 显示全部楼层


axel 发表于 2022-11-15 21:12
很多三手机器,修修就能用。最早在ibm Bollingen厂用的。


请教有没相关的设备资源或者型号?这方面我接触的不多
发表于 2023-1-5 22:51:01 | 显示全部楼层
你可以请你的老板直接联系我们,我们是公司,直接谈生意
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