湿法去胶，像元周边出现一圈彩色杂质？

a2463709792 · 发表于 2022-10-25 18:42:48

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本帖最后由 a2463709792 于 2022-10-28 18:31 编辑

在CVD长SiO2，光刻RIE后，去胶时部分区域像元周边出现彩色杂质，紧贴着一圈。试过O2等离子轰击，无明显改变。

请问有人遇到过这种情况吗？

jurong008 · 发表于 2022-11-7 08:44:30

有图片看看吗，感觉这种彩色的一般都是胶啊

CZY_2020 · 发表于 2022-11-17 09:53:27

先轰击再湿法去胶呢

器件小辣鸡 · 发表于 2023-4-27 11:40:21

有可能是光刻胶边缘被等离子体污染了

canhecangwu · 发表于 2023-9-19 16:48:28

胶相对于刻蚀过程太薄了，或者刻蚀均一性不够，边缘胶被消耗完后，下面的SiO2被刻蚀掉了，厚度发生了改变，由于干涉形成了彩色条纹。

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