先进工艺的层次问题

龙学芯 · 发表于 2022-10-19 17:19:27

马上注册，结交更多好友，享用更多功能，让你轻松玩转社区。

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

有做小工艺的大佬吗?最近在学小工艺，遇到些层次看不懂不是很了解比如：1.CPO： Double PO patterning
2.HMR：          Hard mask remove
3.NSSD             Strained S / D
4.COD_V          FINFET patterning5.CPODE          Cut FINFET process

有大佬解答一下吗？

note30933 · 发表于 2022-10-20 10:18:38

顶一下

ncash0933 · 发表于 2022-10-20 13:07:53

求答案

이지은 · 发表于 2022-10-20 17:54:09

看看TSMC的designrule噻，理解理解

ncash0933 · 发表于 2022-10-21 14:07:34

顶一下

[讨论] 先进工艺的层次问题

马上注册，结交更多好友，享用更多功能，让你轻松玩转社区。

站长推荐 /1