陀螺仪真空级别阻尼计算

两碗 · 发表于 2022-9-20 16:47:55

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想咨询下各位大佬，MEMS陀螺仪在只有几个pa左右的真空级别时，是怎么计算驱动模态和检测模态的阻尼的呀？利用Coventor低气压仿真是不是不太靠谱啊？电容式的陀螺仪可以仿真接近真空条件下的Q值吗？

Xdadiao · 发表于 2023-9-7 10:07:18

同问

OsrisGZY · 发表于 2023-10-9 11:55:14

comsol仿真看看吧

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