深阱工艺

SZtI · 发表于 2022-9-1 00:56:54

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有无大佬可以详细的给我讲讲深阱工艺

u12u34 · 发表于 2022-9-2 09:50:23

Well是用扩散工艺，然后使用RTP高温退火，将阱往体里推。而普通的well和深well的区别就是推结深度，还有些工艺上的细微差距吧，因为扩散工艺是各向同性的，往深里推结的时候，肯定也会往左右两侧扩散。蹲个大神详细说说

ICrookiezzz · 发表于 2022-9-2 09:59:43

蹲。

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