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芯片制造:半导体工艺制程实用教程(第6版)
本书是一本介绍半导体集成电路和器件制造技术的专业书籍,在半导体领域享有很高的声誉,本书的讨论范围包括半导体工艺的每个阶段:从原材料的制备到封装、测试和成品运输,以及传统的和现代的工艺个书提供了详细的插图和实例,每章包含回顾总结和习题,并辅以丰富的术语表。第六版修订了微芯片制造领域的新进展,讨论了用于图形化、掺杂和薄膜步骤的先进工艺和尖端技术,使隐含在复杂的现代半导体制造材料与工艺中的物理、化学和电子的基础信息更易理解。本书的主要特点是避开了复杂的数学问题介绍工艺技术内容,并加入了半导休业界的新成果,可以使读者了解工艺技术发展的趋势。
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