GAA衬底怎么接？还是说不用接？

yzy233 · 发表于 2022-8-16 18:10:41

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GAA内部应该有一个寄生BJT的，但是基本都不加异质结来抑制，所以我就有点疑惑GAA是否要接衬底？有无懂哥求助一下。

phoenixson · 发表于 2022-8-16 21:25:49

能玩GAA的都是大厂的啊

adhylin · 发表于 2022-8-17 08:02:38

请详细讲一讲GAA是什么，谢谢

yzy233 · 发表于 2022-8-18 13:28:46

adhylin 发表于 2022-8-17 08:02
请详细讲一讲GAA是什么，谢谢

gate all around，FinFET的下一代，栅对沟道全包。

yzy233 · 发表于 2022-8-18 13:29:59

phoenixson 发表于 2022-8-16 21:25
能玩GAA的都是大厂的啊

没有，明年硕士毕业，比较好奇这个问题。

dapendaren · 发表于 2022-8-18 14:58:32

我猜那几个sheet应该是有个地方连起来，然后接到下面的衬底的吧

yzy233 · 发表于 2022-8-19 18:58:49

dapendaren 发表于 2022-8-18 14:58
我猜那几个sheet应该是有个地方连起来，然后接到下面的衬底的吧

但是目前没有看到相关文献，说这个衬底的接法的。如果悬空的话会有什么影响之类的文章也没有看到。难搞。

dapendaren · 发表于 2022-8-22 09:04:20

yzy233 发表于 2022-8-19 18:58
但是目前没有看到相关文献，说这个衬底的接法的。如果悬空的话会有什么影响之类的文章也没有看到。难搞 ...

肯定不会悬空的，等techinsight的照片出来就知道了

yzy233 · 发表于 2022-8-23 17:28:50

dapendaren 发表于 2022-8-22 09:04
肯定不会悬空的，等techinsight的照片出来就知道了

感觉看的IEEE好多文章都没接……最近搜到了一篇接的，性能有提升。但是感觉把nanowire做很细就引不出来了emmmmm

[求助] GAA衬底怎么接？还是说不用接？