DUV 7nm性价比

wanghu_msee · 发表于 2022-8-11 02:53:26

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我有一个评论在youtube被屏蔽

“7nm DUV对战EUV就像大刀长矛对战AK47，中国大陆没突破EUV之前就用DUV 14nm吧，军工14nm足够了，DUV 7nm是烧钱无底洞“

实质就是性价比的问题，7nm DUV 设计复杂mask贵而且良率低没有性价比。我的理解可能有误所以被屏蔽，希望懂行的大侠指点，谢谢。

andyfan · 发表于 2022-8-11 07:28:37

TSMC的7也是DUV，7+/6才是EUV，7依然在接单

莫名晴天 · 发表于 2022-8-11 09:35:09

andyfan 发表于 2022-8-11 07:28
TSMC的7也是DUV，7+/6才是EUV，7依然在接单

7+是不是就不是double pattern了？

andyfan · 发表于 2022-8-11 10:18:13

莫名晴天发表于 2022-8-11 09:35
7+是不是就不是double pattern了？

依然是，只是有几层不是了。你可以看下面图片，M1，M2减少了，M3开始，又是两层光罩。中段MD/MP也保持不变。

wanghu_msee · 发表于 2022-8-11 16:53:57

DUV 7nm需要triple pattern，除了台积电没有任何另一家能用DUV 7nm量产吧。不过听说中芯DUV 7nm也量产了用在挖矿机上，不知道是真的还是美国人故意放出假消息找理由禁运DUV，英特尔三星财大气粗都没能搞出DUV 7nm有点怀疑中芯能这么轻易搞定。

LYS013 · 发表于 2022-8-11 21:23:19

可以了解一下SADP和SAQP，某国际的7用的就是SAQP做的，也确实是DUV，18年下单的EUV一直就没有发货

wanghu_msee · 发表于 2022-8-12 09:11:32

中芯制程进展大大超过了期望值，狂赞，大家多用啊！

ttuan · 发表于 2022-10-26 10:45:09

thanks for share

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