不好，国内光刻机,北京华卓精科依赖美国公司 ZYGO

sinowarrior · 发表于 2022-7-24 13:30:40

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https://www.bilibili.com/video/BV1BU4y1B7tz

北京华卓精科科双工台依赖美国公司 ZYGO 激光干涉仪 (laser interferometer) 光栅 (grating)

这是不可接受的，巨大的弱点

在研究 EUV 材料的时候，我遇到了这家美国公司 Zygo 的产品，它的激光干涉仪设备是用来测量 EUV 反射镜的表面积的。所以看起来像 DUV 和 EUV 光刻设备。这种设备知识对于中国来说是必须的。

好消息是北京科益虹源, 美国公司 ZYGO 有重叠的技术和知识。

北京科益虹源需要开发面向国内市场的激光干涉仪。

DUV 和 EUV 光刻都需要它

Laser Interferometers

https://www.zygo.com/products/metrology-systems/laser-interferometers

nrxxiner · 发表于 2022-7-24 17:44:14

nrxxiner · 发表于 2022-7-24 17:46:51

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sinowarrior · 发表于 2022-7-24 22:49:58

北京华卓精科科双工台 ,
IPO 文件

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