Seal ring异常？

jurong008 · 发表于 2022-7-11 12:35:34

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求助，告知以下信息
1.每批次1-2pcs
2.每片都在固定区域大约20-50ea die
3.这种异常能否下放？对产品有何影响？
求大神帮忙分析分析

billgolden · 发表于 2022-7-11 13:14:11

这种异常是怎么发现的？偶然观察到？

jurong008 · 发表于 2022-7-11 13:49:06

billgolden 发表于 2022-7-11 13:14
这种异常是怎么发现的？偶然观察到？

是有几天突然发现。怀疑是机台哪里出问题或者是前道来料问题我厂是Bump代工厂~

billgolden · 发表于 2022-7-11 15:51:28

jurong008 发表于 2022-7-11 13:49
是有几天突然发现。怀疑是机台哪里出问题或者是前道来料问题我厂是Bump代工厂~
...

有没有影响的话，需要找出一些这样的样品去做一系列测试（这款芯片需要测的那些数据和实验），如果都正常说明没影响。这种看起来是有点问题的。

jurong008 · 发表于 2022-7-11 16:13:59

billgolden 发表于 2022-7-11 15:51
有没有影响的话，需要找出一些这样的样品去做一系列测试（这款芯片需要测的那些数据和实验），如果都正常 ...

电性应该是没有问题的电性通过也不敢放给客户，毕竟异常还蛮明显的。后面会做一下失效分析。这段时间又突然好了很是奇怪更怀疑前道问题

jurong008 · 发表于 2022-7-13 10:39:37

自顶论坛人气不高啊~~

cathode-hh · 发表于 2022-7-13 14:14:11

有点像是bubble，这是什么类型的晶圆产品呢
另外，每片都在固定区域是指的在晶圆的固定区域，还是在版图的固定区域呢，若是后者，更怀疑是来料内部的缺陷。

jurong008 · 发表于 2022-7-13 15:00:10

cathode-hh 发表于 2022-7-13 14:14
有点像是bubble，这是什么类型的晶圆产品呢
另外，每片都在固定区域是指的在晶圆的固定区域，还是在版图的 ...

是driver ic，缺陷挺有规律性的，第一在wafer边缘的一小块区域，第二固定在die的一个相似位置。我很大感觉也是来料问题目前准备送去切片分析

[求助] Seal ring异常？