为什么12nm guardring 里面会有PO，除了OD

wenfangsibao · 发表于 2022-7-1 20:33:59

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在12nm里面，如果PW guardring 里面OD上面有Metal Gate，那不就是一个MOS管吗？MG通过M0_PO互相连接起来的目的是什么？
这是什么工作原理？

.13工艺里面，PW guardring 不是应该连接到VSS吗？12nm这个连接关系没看懂

andyfan · 发表于 2022-7-2 10:49:59

本帖最后由 andyfan 于 2022-7-2 10:55 编辑

POLY只是DUMMY，是不是PICKUP，要看注入关系，而不是看是不是有POLY。

至于为什么一定要有POLY，因为FINFET啊，OD最后是立体的FIN，没有PO压住不行，OD没有单独存在的。和平面工艺不一样。

你随便PDK拉个管子，看看边上是不是必须压着POLY。

wenfangsibao · 发表于 2022-7-4 13:12:24

andyfan 发表于 2022-7-2 10:49
POLY只是DUMMY，是不是PICKUP，要看注入关系，而不是看是不是有POLY。

至于为什么一定要有POLY，因为FINFE ...

非常感谢你。

[讨论] 为什么12nm guardring 里面会有PO，除了OD

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