电容阵列的最佳匹配

tianxiong_14 · 发表于 2022-6-9 20:18:20

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x

请问下面两种方式，那种匹配效果更好呢，
方法一，A，B沿着中心轴对称
方法二，A，B都暴露在最外侧

对齐1.png

ericking0 · 发表于 2022-6-10 08:09:03

case by case吧；
如果有的选，我可能选择田字同质心；
回到你的两个选项，如果电容大，可能wafer上面的X/Y轴 variation可能会主导，我可能选择第一个；
如果电容不大，感觉估计差不多；
当然，如果是mosfet之类的话，考虑类似WPE之类的边沿敏感效应，可能第二个更合适；

tianxiong_14 · 发表于 2022-6-18 20:56:17

感谢解答，请问x/y轴variation，为什么优选方案一呢，麻烦进一步解释一下啊

Lolia1217 · 发表于 2022-6-20 16:04:37

2楼比较赞同

lalala2018 · 发表于 2022-6-21 09:09:12

第一种好

tianxiong_14 · 发表于 2022-6-22 19:36:44

我的理解是光刻胶滴上去的时候沿着圆心向外扩散，近似沿着x,y轴对称，所以这是最好的匹配方式。不知道是不是这样理解呢

tianxiong_14 · 发表于 2022-6-30 19:31:52

顶一下

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