RF vs. Logic process

江湖人92 · 发表于 2022-5-26 15:43:14

请教各位：RF 和Logic process 的差异主要在哪些方面?
同一个工艺平台下，RF工艺的top metal一般会选择比较厚的，这是出于什么考虑那？

andyfan · 发表于 2022-5-26 16:31:54

大部分情况下，就是一套工艺；只是RF要提供专门的模型，TOP选厚的，是因为电感的原因啊

hustjzr · 发表于 2022-5-26 16:35:53

顶层厚金属，方块电阻小，电感的Q值才能做的高（>10），然后厚金属承载的电流密度也会大，不然电感线圈里面mA级别电流，直接把薄金属线熔断了

江湖人92 · 发表于 2022-5-26 17:26:39

andyfan 发表于 2022-5-26 16:31
大部分情况下，就是一套工艺；只是RF要提供专门的模型，TOP选厚的，是因为电感的原因啊 ...

所以厚金属是因为RF用到了电感吗？跟RF的其它特点有关系吗？比如工作频率、电流大小等？

江湖人92 · 发表于 2022-5-26 17:29:17

hustjzr 发表于 2022-5-26 16:35
顶层厚金属，方块电阻小，电感的Q值才能做的高（>10），然后厚金属承载的电流密度也会大，不然电感线圈里面 ...

明白了非常感谢！

pctanyicheng · 发表于 2022-5-26 17:44:30

跟学

[求助] RF vs. Logic process