HV CAP实现

98765432100000 · 发表于 2022-3-10 01:50:42

马上注册，结交更多好友，享用更多功能，让你轻松玩转社区。

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

×

目前使用的高压工艺pdk内没有耐高压的电容，有其他方法能在芯片内实现吗

waley · 发表于 2022-3-10 10:39:55

MoM cap. 將 space 拉大, 但 space v.s. voltage 的關係還是需要詢問 foundry, 不然就自己做大量 reliability test

andy2000a · 发表于 2022-3-10 17:20:47

多高电压? 没有 Hv mos ?

不同层间Metal间 MOM (就是寄生电容)

可 , 但单位电容很小

另一个用LDMOS MOS 的 CDS 寄生电容“DRAIN”

98765432100000 · 发表于 2022-3-11 01:32:21

andy2000a 发表于 2022-3-10 17:20
多高电压? 没有 Hv mos ?不同层间Metal间 MOM (就是寄生电容) 可 , 但单位电容很小另一个用LDMOS MOS ...

您好

目前使用TSMCHV工艺
想得到pF等级以上的电容，且至少耐压要达24V以上

您所说的LDMOS的COSS确实是可行的办法，不过面积还是会蛮大的
不知道是否有其他办法?

peterlin2010 · 发表于 2022-3-11 07:23:36

98765432100000 发表于 2022-3-11 01:32
您好

目前使用TSMCHV工艺

TSMC HV工艺

=> HV MOS CAP ?

是TSMC 那套 , 没有 PIP 或MIM 吗?

不过一般PIP耐压好像 <15V

TSMC 我不确定

andy2000a · 发表于 2022-3-11 11:36:52

mos cap 实现

98765432100000 · 发表于 2022-3-11 16:58:38

peterlin2010 发表于 2022-3-11 07:23
TSMC HV工艺

=> HV MOS CAP ?

只有mom cap有较高耐压但容值很小，mim cap无法耐较高电压

98765432100000 · 发表于 2022-3-11 17:00:29

andy2000a 发表于 2022-3-11 11:36
mos cap 实现

想再请教您这样做的hv mos ring要怎么围?可否直接围一圈

peterlin2010 · 发表于 2022-3-12 13:42:14

本帖最后由 peterlin2010 于 2022-3-12 13:44 编辑

前面一堆人都说答案了 .

MOM 或是找耐高压MOS . 如果你只有 LDMOS 且低压GATE LDMOS , 某些LDMOS 工艺会分低压和中压 gate , 那只有 MOM , 你用那类高压工艺? , 你都说高压工艺难到没有电容 ? 你应该直接问TSMC 那边吧.. 没人知道你工艺库有那类元件 , 如果 TSMC 说不能用, 那就是不能 .

账号		自动登录	找回密码
密码			注册

[求助] HV CAP实现

马上注册，结交更多好友，享用更多功能，让你轻松玩转社区。

浏览过的版块

站长推荐 /1