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查看: 1894|回复: 3

[求助] 求助:14nm和28nm gate 高度一般做到多少

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发表于 2022-3-7 10:35:42 | 显示全部楼层 |阅读模式

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求助:请教大神,有没有知道14nm和28nm gate高度一般做到多少?
发表于 2022-5-23 12:50:50 | 显示全部楼层
参考dummy poly的厚度应该差不多。
发表于 2023-5-30 00:38:07 | 显示全部楼层
14nm是FinFET,28nm是平面结构,3维和2维的gate高度没法比啊
发表于 2023-7-22 00:33:27 | 显示全部楼层
这都是fab的recipe,一般不太可能获取到。如果真想获取,可以通过切片去量测一下哈。
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