请教MIM为什么不放在M1和M2之间

fishir · 发表于 2022-2-10 12:29:04

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一般MIM会放在顶层金属和顶层金属减一层之间，也有放在M2/M3之间，但是如果两层金属放MIM只能放在M1上面，这会有什么问题吗？主要考量是什么？

demonhunter · 发表于 2022-2-10 13:37:03

离sub越远，寄生越小。

fishir · 发表于 2022-2-13 11:56:33

能说的再详细点吗，主要是考虑sub的noise对MIM的可能的noise coupling影响是吗？M2以上的MIM下面如果有device 或走线需要加隔离metal层是一个道理是吗？
如果平面上MIM区域和其它器件或走线距离远一点是否能减弱或避免这个寄生的影响？

zhu072811 · 发表于 2022-2-16 11:48:52

说点工艺上的看法：
从工艺的角度来说，MIM的面积一般会比较大，如果放在M1上面，会占用大量面积，并不是很友好。
然后就是低层metal的之间的隔离层厚度也不多，MIM本身也是有一定厚度的，不利于工艺的展开，成熟制程的可能还好，特别是到先进工艺，厚度是无法满足需求的。

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