MIM层是一层特殊金属层吗？

蛋zizi · 发表于 2022-2-7 09:16:00

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是一种什么样的导电介质

shisigang · 发表于 2022-2-7 09:34:37

peterlin2010 · 发表于 2022-2-7 10:25:37

本帖最后由 peterlin2010 于 2022-2-21 21:25 编辑

MOM 其实一些高压设计会用 , MOM 可用 m3-m4 单位电容很小, 但可耐高压一般可50~60V ,

MOM 那梳子形电容如果没MODEL 要自己先MPW 去做TESTKEY 去知版图上电容多少 .

SAR A/D convert 有些cap split dac 会使用 MIM 那电容 . 有些会使用 MOM unit cap

0.25um use MIM

0.11 use MOM type

PIP 会中间须要一层 mask 降低中间层当另极板, 一般0.35 ~ 0.5um 使用

MIM 在0.25um 下使用中间须要一层 mask 降低中间层当另极板 , 如果不多一层 mask 降低 ,

那就如前文用 MOM 方式做藕合电容

=> MODIFY

终章0000 · 发表于 2022-2-15 16:09:42

peterlin2010 发表于 2022-2-7 10:25
MOM 其实一些高压设计会用 , MOM 可用 m3-m4 单位电容很小, 但可耐高压一般可50~60V ,

MIM 那梳子形 ...

这反了吧

peterlin2010 · 发表于 2022-2-21 21:20:27

本帖最后由 peterlin2010 于 2022-2-21 21:23 编辑

yzzhong 发表于 2022-2-15 16:09
这反了吧

modify

MOM 有分2 种 ,

一种梳状 finger 那类同一层 , 先进工艺使用

另外一种MOM 用HV 环境

可耐压有些 process 200v 的MOM 电容.

[求助] MIM层是一层特殊金属层吗？