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[讨论] smic 130nm 1.2v 3.3v Cox u0 工艺参数

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发表于 2021-12-30 11:33:48 | 显示全部楼层 |阅读模式

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本帖最后由 禾芃君 于 2021-12-30 20:57 编辑

Cox=εr*ε0/tox;
ε0=8.85*10^-12 F/m,真空介电常数;
εr=3.9,二氧化硅的相对介电常数;
另,一般tox和Lmin存在如下关系:tox = Lmin/50,但是有时仿真误差较大。
u和tox均可从models中的spice模型中查到。

##############################################################
n12
un 22.347*10^-3 m^2/(v*s)=223.47 cm^2/(v*s)
tox 2.58nm

Cox=εr*ε0/tox=13.3779*10^-3 F/m^2
=13.3779 fF/um^2

un*Cox= 2.98956*10^-4 F/(v*s)
##############################################################
p12
up 7.548*10^-3 m2=75.48 cm^2/(v*s)
tox 2.52nm

Cox=εr*ε0/tox=13.6964*10^-3 F/m^2
=13.6964 fF/um^2

up*Cox= 1.03380*10^-4 F/(v*s)
##############################################################
n33
un 37.1827*10^-3 m^2/(v*s)=371.827 cm^2/(v*s)
tox 7nm

Cox=εr*ε0/tox=4.93071*10^-3 F/m^2
=4.93071fF/um^2

un*Cox=1.83337* 10^-4 F/(v*s)
##############################################################
p33
up 10.9*10^-3 m2==109 cm^2/(v*s)
tox 6.9nmS

Cox=εr*ε0/tox=5.00217*10^-3 F/m^2
=5.00217 fF/um^2

up*Cox=5.45237*10^-5 F/(v*s)
##############################################################




发表于 2021-12-30 13:15:01 | 显示全部楼层
nice 哦
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发表于 2021-12-31 04:02:03 | 显示全部楼层
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