mim antenna error

redwall76

大家好我是一个研一小白，现在在做TSMC65nm的工艺的版图，在跑antennaDRC的时候出现了M8的error（图一）。我的电容一端接mos的gate，一端接pin。接mos的gate的M8金属不是很长，接pin的M8很长，我也用了跳线来避免天线问题（调到M9再跳回M8）（见图二图三）。 但是还是有天线问题。 想问下前辈们，这个问题到底咋回事，咋解决。。。出错的是上面的大电容。
感谢大家

pph_cq

error一般应该在接gate的线上，不是接pin那根线

redwall76

顶一下

封心锁爱

每层金属的ant比例值相对于Gate是固定的，你需要的是将它们合理分配；跳线选择在靠近gate端跳，由低往高层跳线或者加泄放的diode；推荐你先了解下ant的原理先；你这里的原因是你这条线上M8太多了做法就是MIM电容出来一小部分后跳下来到底层金属应该就没什么问题了（为什么都用到M8M9了？），反正是合理金属线，over仅供参考。

redwall76

   

封心锁爱 发表于 2021-12-21 15:37
每层金属的ant比例值相对于Gate是固定的，你需要的是将它们合理分配；跳线选择在靠近gate端跳，由低往高层 ...

但是我从mimcap出来就向上跳线还是有这个ERROR。。。您知道怎么回事吗？

封心锁爱

封心锁爱

那你直接加个二极管算了（加在这条线上）；就可以解决了不用跳任何线了

一叶大白

楼主可以试一下，把电容两端的线都往上跳线以后 在接到其他器件上面试试看

redwall76

我试了一下，gate处打一个到OD层的通孔就没事了

hujiangtao007

   

redwall76 发表于 2021-12-24 10:15
我试了一下，gate处打一个到OD层的通孔就没事了

这个要注意通孔两端的电压差，超过5伏电压有可能会击穿漏电。