Bumping Ni Descum后氧化问题

猪八戒他大爷 · 发表于 2021-12-13 14:53:47

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各位同行，Bumping Ni电镀后如果加打O2 descum，是否会有Ni的氧化问题，。
另外，O2 descum是以物理轰击为主还是以化学轰击为主？

copper_hou · 发表于 2021-12-13 16:57:18

通O2的descum就是常用的等离子干洗技术，不会造成电极氧化。类似的应用在LCM领域，利用CDA或N2的等离子清洁panel的COG、GOF pin

jurong008 · 发表于 2022-8-24 11:28:16

化学

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