关于金属dummy fill一些疑问

challengersy · 发表于 2021-12-5 12:37:36

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在跑drc过密度的时候有一些关于金属dummy的疑问，恳请各位大佬解答

1、请问管子上需不需要添加金属dummy呢？如果不需要的话，请问是为什么呢？
之前有跑过工艺厂提供的脚本，发现管子是会被空出来的，顶上是没有金属dummy的。
2、请问一般射频走线下方或者上方，以及电感的中心是不是也不能放置金属dummy呢？这样做是为了减小寄生电容吗？
3、还有一个疑问就是金属dummy是悬空的，那请问它会与走线之间产生寄生电容这些吗？

billcxx · 发表于 2021-12-5 19:06:25

1、一般poly上一层金属不走管子上面走，有些工艺要求可能是上两层。原理同metal gate.
2、射频了解不多，应该射频对寄生电阻电容要求很高，不加，可避免dummy电容的影响。
3、当然产生寄生电容，左右上下都会有。在先进工艺中，电容还非常大。必须带上dummy验收时序。

challengersy · 发表于 2021-12-7 10:52:32

billcxx 发表于 2021-12-5 19:06
1、一般poly上一层金属不走管子上面走，有些工艺要求可能是上两层。原理同metal gate.
2、射频了解不多，应 ...

多谢回复！！！

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