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[求助] 请教SMIC.18工艺,常见的电容单位容值??

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发表于 2021-11-25 16:15:13 | 显示全部楼层 |阅读模式

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如题,请教一下,典型的工艺中,mim电容、mom电容、pip电容的单位平方μm的容值大约为多少?
近期看版图实例,只标了尺寸,并没有容值介绍,想要心里有个数。
感谢大家!
发表于 2021-11-25 16:28:23 | 显示全部楼层
mim和pip都是要额外增加mask来实现的,所以电容方块值可以在一定范围内调整
即使是标准工艺也会有一些固定的选项,如某工艺中的mim方块之可以是0.66fF/um2  1fF/um2 2fF/um2 三种可选
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 楼主| 发表于 2021-11-25 16:33:01 | 显示全部楼层


一西 发表于 2021-11-25 16:28
mim和pip都是要额外增加mask来实现的,所以电容方块值可以在一定范围内调整
即使是标准工艺也会有一些固定 ...


非常感谢,我想再问一下pip电容,最常见工艺设置,方块容值的数量级大概是多少呢?比如mim的2Ff/um^2
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 楼主| 发表于 2021-11-25 16:34:08 | 显示全部楼层


一西 发表于 2021-11-25 16:28
mim和pip都是要额外增加mask来实现的,所以电容方块值可以在一定范围内调整
即使是标准工艺也会有一些固定 ...


我了解到,pip其实很少使用,一般都是mim或者mom多些,所以我想对pip有个数量概念的认识。
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发表于 2021-11-25 16:41:56 | 显示全部楼层


uniquemh 发表于 2021-11-25 16:34
我了解到,pip其实很少使用,一般都是mim或者mom多些,所以我想对pip有个数量概念的认识。
...


之前用过的某个0.35工艺,pip电容可以耐压40V,0.25fF/um2
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 楼主| 发表于 2021-11-25 16:45:59 | 显示全部楼层


一西 发表于 2021-11-25 16:41
之前用过的某个0.35工艺,pip电容可以耐压40V,0.25fF/um2


非常感谢!
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发表于 2021-11-25 17:40:44 | 显示全部楼层
基本任何工艺都有1pf的电容
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