请教SMIC.18工艺，常见的电容单位容值？？

uniquemh · 发表于 2021-11-25 16:15:13

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

如题，请教一下，典型的工艺中，mim电容、mom电容、pip电容的单位平方μm的容值大约为多少？
近期看版图实例，只标了尺寸，并没有容值介绍，想要心里有个数。
感谢大家！

一西 · 发表于 2021-11-25 16:28:23

mim和pip都是要额外增加mask来实现的，所以电容方块值可以在一定范围内调整
即使是标准工艺也会有一些固定的选项，如某工艺中的mim方块之可以是0.66fF/um2 1fF/um2 2fF/um2 三种可选

uniquemh · 发表于 2021-11-25 16:33:01

一西发表于 2021-11-25 16:28
mim和pip都是要额外增加mask来实现的，所以电容方块值可以在一定范围内调整
即使是标准工艺也会有一些固定 ...

非常感谢，我想再问一下pip电容，最常见工艺设置，方块容值的数量级大概是多少呢？比如mim的2Ff/um^2

uniquemh · 发表于 2021-11-25 16:34:08

一西发表于 2021-11-25 16:28
mim和pip都是要额外增加mask来实现的，所以电容方块值可以在一定范围内调整
即使是标准工艺也会有一些固定 ...

我了解到，pip其实很少使用，一般都是mim或者mom多些，所以我想对pip有个数量概念的认识。

一西 · 发表于 2021-11-25 16:41:56

uniquemh 发表于 2021-11-25 16:34
我了解到，pip其实很少使用，一般都是mim或者mom多些，所以我想对pip有个数量概念的认识。
...

之前用过的某个0.35工艺，pip电容可以耐压40V，0.25fF/um2

uniquemh · 发表于 2021-11-25 16:45:59

一西发表于 2021-11-25 16:41
之前用过的某个0.35工艺，pip电容可以耐压40V，0.25fF/um2

非常感谢！

fengluan83 · 发表于 2021-11-25 17:40:44

基本任何工艺都有1pf的电容

[求助] 请教SMIC.18工艺，常见的电容单位容值？？