关于检查floatting metal的方法

smint1986

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检查Floating Metal的两种方法

已有 1731 次阅读2021-2-2 19:05 |系统分类:[color=rgb(153, 153, 153) !important]芯片设计| Floating metal, Antenna, Antenna, Antenna, Antenna

在Layout中，Floating的金属有时候肉眼发现不了，然而它既会影响电路性能，也会造成不必要的面积浪费。

比如，高速电路中常用电感，电感附近有Floating的金属，会影响电感的感值，导致电路不能正常工作。

PS:在高速的Layout中，为了电路性能，高速部分不填充金属Dummy的。

不过也有特例，为了芯片平坦度，Foundry厂会要求我们填充金属Dummy，它们也是Floating的，但是与有用的器件和层次距离比较远，对电路性能影响比较小。

为了检查出Floating的金属，我们可以用以下两种方法。

01     RUN LVS的方法检查Floating Metal

在LVS cmd file中，添加下面的语句，然后Run LVS，看ERC结果。

ERC PATHCHK !LABELED by layer

该语句是检查layer没有net name。若是用于检查线，那么没有net name的线相当于是floating的线。

02    RUN  ANTENNA的方法检查Floating Metal

其实检查Antenna的Rule也可以检查Floating Metal。检查Metal1的天线效应，语句可能像下面这样写：

gate = poly AND diff
CONNECT poly metal1 BY contact
{ NET AREA RATIO metal1 gate >20 }

从这个语句可以看出，检查metal1的天线效应，是把metal1和gate的面积进行比较，超过20就报错。

如果是用来检查Floating Metal，那么就相当于Metal没有接到Diffussion、Poly，或者可以这样理解，Metal1连接的Diffussion、Poly的面积为0，语句可以这样写：

CONNECT  metal1 diff BY contact
CONNECT  metal1 poly BY contact
floating_metal { @ Check metal1 floating
（ NET AREA RATIO metal1 poly == 0 ） AND （ NET AREA RATIO metal1 diff == 0 ）
}

前两句是定义metal1和diff通过contact连接，metal1和poly通过contact连接。也许你已经看出疑问了，最下面那行等于0，那么metal1与diff、poly运算时，分母是0，语句是不是有问题啊？

我们来看看Calibre的SVRF文档，文档中有提到NET AREA RATIO语句运算时，是允许分母为0的，并且提到，该语句可以用来检查nets没有被diodes保护的情况。那么我们可以把没有接到Diffusion的Metal，看成没有受到diodes（在Antenna检查中，Diffussion相当于diode）保护的Metal。从而可以用这种方式检查Floating的Metal。

JC_09

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