（已解决）求助华虹宏力110nmPDK中电感的漂移问题

hustjzr

请教各位大佬，有人使用过华虹宏力110nm的PDK进行过VCO设计吗？
我设计了一款用于蓝牙的2.4G频段VCO，VCO core振荡频率为4.8G（因为接收机需要IQ两路本振，所以VCO core输出经过了CML二分频，电感值选择为1nH）
仿真的时候发现，PDK中提供的SYM电感，在不同corner下，电感值漂移达到了25%。以下是我仿真相同VCO控制字时，SS,TT,FF三种corner的VCO core振荡频率

VCO core的振荡频率偏差达到了1600M！我怀疑是PDK中电感在不同corner下一致性不好，将IND_SYM单独拉出来做SP仿真，发现果然在不同corner下，电感值存在±25%的偏移。例如1nH的电感，实际上考虑corner，实际电感值在750pH~1.2nH
师兄说电感不会存在这么大的偏差，让我电感固定为TT corner。只考虑电阻，电容，MOS corner，发现VCO core振荡频率在不同corner时偏移较小，仅为600M（CML二分频后为300M）.
我的问题是：
（1）华虹宏力110nm的PDK中提供的电感模型不准，还是本身该工艺对电感的一致性就不好？
（2）华虹宏力110nm提供衬底文件吗，可不可以通过EMX自己设计定制电感，来解决PDK中自带电感偏差大的问题？目前在PDK中没有衬底文件，向华虹宏力发邮件也没有回复
我同时在SMIC 40nm工艺下，设计的2.4G DCO，不同corner下，振荡频率就比较一致，频率波动<±200M

hustjzr

VCO core的频率偏差为1.6G左右，二分频出来的频率偏差800M左右

hustjzr

顶一下

hustjzr

华虹后续更新了PDK，有大更新，PDK中舍弃了之前的电感model，转用motemom实时抽取电感。之前是参考第一版本的PDK里面的衬底文件，自己写EMX衬底文件，然后定制电感，和原有PDK中电感的参数做比较，确认EMX建模的合理性。最后还是以华虹提供的新PDK为准。