请教一下，PO drawing层和dummy1层有什么区别，做dummy PO哪个比较好？

kaerfa · 发表于 2021-8-21 20:45:13

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请问PO drawing和PO dummy1有什么区别呢？我用tsmc40的时候dummy PO是用PO drawing画的，到了tsmc28的时候就用PO dummy1画。我看finfet工艺的文档里的图显示，PO drawing和dummy1都可以用来做dummy PO。

andyfan · 发表于 2021-8-22 06:58:28

如果都按规则画的话，对最终结果基本没影响，
一是两者规则不太一样，dummying要离正式的有距离，和常规距离不太一样。
二是对最终数据有影响；drawing一定要做OPC处理，dummy其实有两种，一种SR开头的，一种纯dummy，前者也要OPC处理，后者不做OPC处理，影响最终数据大小。

PS： FINFET就不要混在一起讲，16和7就完全两个故事，因为7的POLY也是SADP做的，一个GROUP必须保持奇数根。有很多额外的BOUNDARY 规则。