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[求助] 提交gds后Foundry的工作流程

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发表于 2021-8-20 10:24:26 | 显示全部楼层 |阅读模式

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一直很好奇客户提交gds给Foundry后的流程,现在只知道先merge需要的IP并把结果反馈给客户,然后添加dummy和sealring(如果客户自己已经添加则忽略),OPC(这点不是很明白),然后就是制作mask了吧,最后生产,不知对不对,请清除的大神给讲解下
发表于 2021-8-20 17:08:38 | 显示全部楼层
OPC是其中的一个流程(光学校准),因为在光刻的时候因为角度问题需要进行一些计算,往后就是根据Foundry反馈的图层去进行比对,有无不同的或者有没有漏层,最后check完后交给Foundry进行MASK
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