管子之间距离与STI

Williams00 · 发表于 2021-6-11 08:36:00

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designrule 哪一部分体现STI效应的
或者说管子之间距离多远时会在两个管子中间做浅槽隔离

neonato · 发表于 2021-6-11 10:13:58

一般来说只要不是Active area的地方都会挖STI。design rule中AA to AA的最小间距就是STI的最小宽度。

Williams00 · 发表于 2021-6-11 16:16:28

neonato 发表于 2021-6-11 10:13
一般来说只要不是Active area的地方都会挖STI。design rule中AA to AA的最小间距就是STI的最小宽度。 ...

谢谢

还有一个问题做STI目的是什么

musclerush · 发表于 2021-6-11 17:01:11

你是想问为什么有PN结隔离了还要做STI隔离吧？PN结表面由于硅的损伤导致隔离没有底部好，所以需要在表面做氧化物（绝缘体）隔离，这种隔离叫LOCOS一般用于.35及以上的含mos工艺。顺着工艺节点的不断缩小，LOCOS隔离会带来鸟嘴效应和白带效应影响器件I-V特性，需要一种更彻底更优秀的隔离，也就是STI隔离，隔离深度越深隔离效果越好。简言之，做STI的目的就是隔离不同电位结构防止漏电、短路。

Williams00 · 发表于 2021-6-15 09:16:50

musclerush 发表于 2021-6-11 17:01
你是想问为什么有PN结隔离了还要做STI隔离吧？PN结表面由于硅的损伤导致隔离没有底部好，所以需要在表面做 ...

多谢大神的解答
PN结表面硅的损伤是什么造成的 implant？

光非 · 发表于 2021-6-15 17:23:12

Williams00 发表于 2021-6-11 16:16
谢谢
还有一个问题做STI目的是什么

STI 浅沟槽隔离，当然是隔离啊

zjh00 · 发表于 2024-6-28 17:31:10

光非发表于 2021-6-15 17:23
STI 浅沟槽隔离，当然是隔离啊

你在这说屁话呢？这种解释以后滚远点，你是个狗脑子？这种解释还用你说了？没脑子的东西

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