为什么说 HVT cell 工艺偏差比较大？

wenfangsibao

HVT cell 在制程上和 SVT/LVT cell 的区别是什么，为什么说 HVT cell 工艺偏差比较大？
为什么 clock tree 上必须只有一种 VT cell ？

原文是这样说的：
“用来build clock tree的clock inverter 必须使用LVT或者SVT，而且必须保证clock tree上只有一种VT。HVT cell禁止使用在clock tree上，因为工艺偏差较大，导致signoff的timing和实测严重不match，甚至导致功能错误。”

OLED721

离子注入那一步mask用的不一样，通过控制si不同区域的掺杂浓度来控制Vt类型,剩下的就不懂了，期待大神回答

bmgshen

后端视角来说应该还是速度和功耗平衡的问题， 不同vt 在不同corner 特性漂的情况是不一样的，所以要统一同一种vt，平面工艺通过调implant 来调整vt，finfet 主要调整金属栅的功函数来调节vt

xingyun666666

bmgshen 发表于 2021-5-26 22:41
后端视角来说应该还是速度和功耗平衡的问题， 不同vt 在不同corner 特性漂的情况是不一样的，所以要统一同 ...

您好，按照前辈说的，是不是可以理解成：假如在ss corner下，launch clock path上有cellA ：20ps，cellB 30ps,capture clock path上有cellC ：20ps，cellD 30ps；在ff corner下，每个cell delay都会变小，若是同一个VT，launch path和capture path上的cell的特性漂的趋势是一样的？也就是cell delay变化的趋势是一样的，这样做减法得到clock skew值，skew变化不会很大？
相反，若是不同vt，ff corner时，Hvt cell往一个方向偏，lvt往另一个方向偏,这样做减法后skew会变大
ps：另外，说的这个特性漂，具体指的是什么，很抽象，可以解释下吗？

凡人修仙传

可以用工具报一下timing ,仔细观察一下就可以发现HVT 的cell 在不同corner 下的delay 差距特别大，这样会使setup 和hold 变得很困难。DELAY cell 的HVT 特别明显