不同工艺的差分对匹配有差异吗

andyfan

尽量做二阶匹配，比如如果共用ACTIVE的情况下，ABAB和ABBA在有二阶效应的情况下，差异就很大。分开单独画，不共用ACTIVE区域，二阶效应的差异就可以避免，但是又浪费面积。

但如果做二阶，共用有源区问题就不大，比如 做上下两排ABAB/BABA  或者 ABBA/BAAB  ，这样其实从左到右考虑二阶还是梯度，还是从上到下考虑二阶和梯度也好，都是基本OK的。剩下的就是周边的dummy和环境问题了。
                                                               


另外先进工艺的管子匹配对周边环境要求很高，比如28开始，就要求匹配的管子加上DUMMY的识别层，周围一定距离内，要求严格的密度要求等等。40的是时候，还没有类似的规则。

比如下图就是28规则里面的截图，这些都要对照设计规则文档去遵守的。

Williams00

   

andyfan 发表于 2021-5-19 20:18
尽量做二阶匹配，比如如果共用ACTIVE的情况下，ABAB和ABBA在有二阶效应的情况下，差异就很大。分开单独画， ...

为你的解答点赞，
但是我有两个问题：1、二阶效应是指什么效应    2、从多少nm开始 匹配时主要考虑二阶效应的影响

andyfan

   

Williams00 发表于 2021-5-20 09:58
为你的解答点赞，
但是我有两个问题：1、二阶效应是指什么效应    2、从多少nm开始 匹配时主要考虑二阶效 ...

二阶效应就是模型中能体现器件变化，W/L完全一样，但是因为版图差异而造成的器件差异就称为二阶，而类似梯度之类的，是模型中无法反映的。

二阶效应随着工艺节点，会增加；也要看模型做没做；一般来说

65nm ，模型中有LOD/WPE两种效应；

40nm，LOD/WPE/PSE/OSE

28nm , 开始多了 MBE效应，16/14后会增加更多的效应，类似于OJE/CPO等等；

但真正要注意的主要就是LOD，因为设计ACTIVE共用时候，其他模拟的东西，只要画的周边环境看上去一模一样，基本就不会出问题。WPE把 WELL拉远些就没影响了，也很好避免。

Williams00

   

andyfan 发表于 2021-5-20 11:28
二阶效应就是模型中能体现器件变化，W/L完全一样，但是因为版图差异而造成的器件差异就称为二阶，而类似 ...

多谢大佬
STI、LOD和WPE是了解的；但是40nm的PSE和OSE 只找到了名字全称 poly space effect 和oxide space effect，
再麻烦大神解释一下PSE和OSE具体指什么

Williams00

   

遍体林香 发表于 2021-5-19 16:25
二阶效应最主要的是LOD效应，导致Vth变化，镜像失配，ABBA型增加dummy作用不大（umc55nm工艺需要15um的dumm ...

“ABBA型增加dummy作用不大”  “采用对称性结果匹配好”
ABBA型不是对称的吗？

andyfan

   

Williams00 发表于 2021-5-20 16:27
多谢大佬
STI、LOD和WPE是了解的；但是40nm的PSE和OSE 只找到了名字全称 poly space effect 和oxide spac ...

和名字表面的意义一样啊，poly space不同，器件特性不一样，器件本身W/L完全一直，紧邻的poly和管子主POLY的SAPCE不一样，器件VT就不一样。
同理，OD SPACE不一样，也就是旁边有源区到你关心的管子的有源区的距离不一样，器件特性就不一样；

andyfan

   

Williams00 发表于 2021-5-20 16:45
“ABBA型增加dummy作用不大”  “采用对称性结果匹配好”
ABBA型不是对称的吗？
...

不要看表面啊，管子带参数的，你考虑LOD效应的话，共用ACTIVE区域的话，ABBA的SPICE 网表写出来都不对称的，因为AA都在边上，LOD参数一样，BB都在中间，LOD参数一样，并不真的对称。但你要匹配的是A和B，直接SPICE的网表参数的SA和SB就不一样了。

你连需要匹配的MOS管的网表参数都做不到匹配的情况下，就不要去考虑那些模型里面都没法反应的东西，比如什么空间梯度之类的。

Williams00

   

andyfan 发表于 2021-5-21 00:11
不要看表面啊，管子带参数的，你考虑LOD效应的话，共用ACTIVE区域的话，ABBA的SPICE 网表写出来都不对称 ...

有道理  学习了
谢谢大神

模拟后端的小白

期待更好的答案

gxj_gy

   

andyfan 发表于 2021-5-21 00:11
不要看表面啊，管子带参数的，你考虑LOD效应的话，共用ACTIVE区域的话，ABBA的SPICE 网表写出来都不对称 ...

请教一下，如果是没有STI隔离的工艺，是不是不用考虑LOD的影响，或者说是LOD的影响会小很多；这时候ABBA的布局匹配性会更优一些？另外如果ABBA的布局我在变上加dummy改成DABBAD的布局，会不会降低LOD的影响，使得ABBA的布局匹配性更好？谢谢。