关于L-edit工艺设置的问题。

新之助爱小饼干 · 发表于 2021-3-1 10:27:58

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本帖最后由新之助爱小饼干于 2021-3-1 15:07 编辑

楼主课题是MEMS领域，初学L-edit，此各位大佬请教关于L-edit画MEMS版图的问题。从网上找了一些教程看，打开文件的工艺就是Generic 0.5 micron N-Well Process（如下图），请问这是CMOS的工艺吗？

我在一本MEMS设计参考书上看到书中L-edit使用是MEMS制造的标准工艺MUMPS V.4.1（如下图）。请问怎么改成在该工艺下画图呢？（我尝试直接改Technology name成MUMPS V.4.1，没有成功）

蹲好心人解答，感谢感谢！