三阱工艺

Liuchlch · 发表于 2021-2-22 16:58:58

在一些资料里面看到有三阱工艺，从来没接触过。想问问三阱是哪三阱？剖面图长什么样啊？

hitzhabc · 发表于 2021-2-22 16:58:59

NW，PW和DNW？

Liuchlch · 发表于 2021-2-22 17:14:45

hitzhabc 发表于 2021-2-22 17:14
NW，PW和DNW？

不知道，我之前没有听说过三阱

washmoney2 · 发表于 2021-2-22 17:18:36

本帖最后由 washmoney2 于 2021-2-23 11:16 编辑

借助外延层吗？类似CCD垂直抗晕结构？

xiaomage2h · 发表于 2021-2-22 17:24:15

本帖最后由 xiaomage2h 于 2021-2-22 17:32 编辑

赞同2楼，高压工艺中会有DNW耐压。剖面图嘛，直观来说就是DNW节深比NW/PW节深要大，例如在LDNMOS中DNW需要包含PW。

juliansky · 发表于 2021-2-22 22:11:05

就是DNW 深N阱

anamnesis · 发表于 2021-2-23 09:09:13

triple well = DNW

Miya.huang · 发表于 2021-2-23 09:36:31

xiaomage2h 发表于 2021-2-22 17:24
赞同2楼，高压工艺中会有DNW耐压。剖面图嘛，直观来说就是DNW节深比NW/PW节深要大，例如在LDNMOS中DNW需要 ...

學習了

Liuchlch · 发表于 2021-2-23 09:41:27

xiaomage2h 发表于 2021-2-22 17:24
赞同2楼，高压工艺中会有DNW耐压。剖面图嘛，直观来说就是DNW节深比NW/PW节深要大，例如在LDNMOS中DNW需要 ...

谢谢，新的知识又增加了

lndxeb · 发表于 2023-11-27 09:47:43

三阱工艺一般指带NW PW DNW，DNW也分两种情况

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