ESD中SCR器件的电路和版图讨论

baozidepipi · 发表于 2021-2-19 10:26:35

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最近开始摸SCR，从坛子里下了一篇中国台湾人写的名叫《CMOS制程中的ESD设计》，看到SCR器件在性能和版图面积方面的巨大优势，于是想用在以后的pad中，研究了一番后，发现原理不是很复杂，但是在版图实现上卡壳了。网上关于SCR的讨论不多，可能实际做的人也不会多，于是想开个帖子聚集下为数不多的这些人，大家讨论学习下电路和版图中遇到的各种问题，提高学习速度和个人能力。我先抛个砖吧，希望引来更多人的玉。
由于scr需要流片验证性能，一般会把实验版图放在远离正常模块的地方，要求在对SCR模块做ESD实验的时候，其放电路径不会进入die区域，试验模块要有自己独立的电源和io pad。

baozidepipi · 发表于 2021-2-19 10:35:41

第二个问题：scr的版图验证。由于scr利用的是栓锁效应，因此寄生的bjt在电路里面是没有的，除了res、mos、diode以外，没有其他器件。

baozidepipi · 发表于 2021-2-19 10:44:45

个人觉得文档中的这几张图很有研究价值

blackcheng · 发表于 2021-3-8 13:16:57

需要用silicon验证。另外就是需要解决触发电压高，Vh低等问题。

smartswq · 发表于 2021-3-12 17:24:10

SCR在公司产品里面应用会有latchup风险，出于谨慎起见，一般都不会采用的

mars0904 · 发表于 2021-5-13 09:53:31

除非有testchip去流片验证，否则不知道SCR的TLP参数。而且SCR跟工艺相关性太大，换一个工艺又需要重新流片验证。这个成本很多公司都不能接受。

baozidepipi · 发表于 2021-5-17 14:41:39

mars0904 发表于 2021-5-13 09:53
除非有testchip去流片验证，否则不知道SCR的TLP参数。而且SCR跟工艺相关性太大，换一个工艺又需要重新流片 ...

说的很有道理，所以现阶段的做法是在手头有pad可用的时候，在die留一点空间做SCR的test，找到最优尺寸后择机替换原来的pad版图。当然这样也要时间和金钱成本

a24914 · 发表于 2021-8-18 15:19:58

楼主可以分享一下这份文档吗没找到

Lolia1217 · 发表于 2022-7-15 17:07:31

baozidepipi 发表于 2021-2-19 10:44
个人觉得文档中的这几张图很有研究价值

你好！请问一下这个文档可以分享一下吗？最近正在做一个SCR得ESD

baozidepipi · 发表于 2022-7-19 17:09:34

参考文档已经添加

[讨论] ESD中SCR器件的电路和版图讨论

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