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lijie5992373 发表于 2021-2-7 10:17 OD layer的flow实际上就是STI浅沟槽隔离的flow这样: OD PH--> OD Etch --> Oxide deposition .......有O ...
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litong717 发表于 2021-2-7 10:22 od区域要重新生长氧化硅做栅氧化层的,而且是要求很高的生长,用之前的牺牲氧化层来做栅氧化层有缺陷,有 ...
小小书生 发表于 2021-2-23 17:44 OD的氧化层要干长硬拔,其他区域的浇水就好啦!
JacksonK 发表于 2021-11-30 11:52 看了上面大佬的讨论,总结一下是不是: 1.有OD的地方需要长很强的氧化层,用于隔离上层金属或poly的接触, ...
David.Z 发表于 2024-1-4 14:29 个人理解OD应该就是在氧化层上挖的洞,开个窗,这样离子注入就能朝里面注入电子了。 ...
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