电容的工艺角仿真

先生燕Sir · 发表于 2021-1-1 20:35:49

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请问各位电容（比如mim电容，mom电容）需要进行工艺角仿真吗？工艺角ff ss tt fs等不是指mos管的速度来划分工艺角的吗？既然是这样那么电容，电阻等器件还需要进行工艺角仿真吗？
感谢

先生燕Sir · 发表于 2021-1-1 20:36:53

自顶一下

xiaomage2h · 发表于 2021-1-2 00:29:40

工艺角是指实际器件在制造过程中的工艺偏差导致器件偏离理想模型，并不是说单纯指MOS的速度。FF定义为快MOSFET而SS定义为慢MOSFET实际物理模型可以理解为预制电压的变化，那么对于实际器件即为其栅氧的变化或者是VT-implant浓度的变化等。任何器件在制造过程中都会有偏差，当然也需要进行Corner仿真。

先生燕Sir · 发表于 2021-1-2 08:38:17

xiaomage2h 发表于 2021-1-2 00:29
工艺角是指实际器件在制造过程中的工艺偏差导致器件偏离理想模型，并不是说单纯指MOS的速度。FF定义为快MOS ...

嗯嗯，谢谢啦

ttliu666 · 发表于 2021-1-2 09:21:35

谢谢分享

522526tl · 发表于 2021-1-6 13:16:35

电容也有Ctyp，Cmim,Cmax的corner的

andy2000a · 发表于 2021-1-6 13:50:25

Res or cap 当然需考虑 corner, 只是FAB给都会 “比较宽” ..很多跑 clock, 一跑corner全都超标. 但你还要跑. 至于实际 , 去调 LOT data , 量值才准 . 如偏差太大 , 该加 TRIM就得加上去 , 正常analog design, 都是需考虑 5 moscorner x 3 Res x 3 PIP(MIM) x 3电压 x 3温度 , 有 mc mismatch model . 就连 montecarlo 跑看看. 万一 corner 不过 , 要自己判断.

priestszpku · 发表于 2021-1-7 09:18:05

仔细看看model文件, 电容电阻也是有不同corner定义区分的

Chen_yu · 发表于 2023-5-5 10:31:45

priestszpku 发表于 2021-1-7 09:18
仔细看看model文件, 电容电阻也是有不同corner定义区分的

请问如果我想跑ss的corner，我电阻应该是rmax的corner，那电容应该选cmin还是cmax呢

ZXY2002 · 发表于 2024-8-7 14:40:38

你好，请问现在你知道了吗，不同工艺角电容区别

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