为什么要有密度过小的DRC

蛋zizi · 发表于 2020-11-26 16:22:22

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

想了解一个工艺问题
不明白为什么会有密度过小的DRC 少点掺杂精度不会更高吗！！！

firewolf223 · 发表于 2020-11-26 16:48:54

你也没说是啥工艺，也不说啥layer。

蛋zizi · 发表于 2020-11-26 17:08:21

firewolf223 发表于 2020-11-26 16:48
你也没说是啥工艺，也不说啥layer。

smic40nm aa m1 m2 m3 m4 m5 m6 poly

firewolf223 · 发表于 2020-11-26 17:45:28

15965256055 发表于 2020-11-26 17:08
smic40nm aa m1 m2 m3 m4 m5 m6 poly

估计是因为CMP 的需要

hypo029 · 发表于 2020-11-26 21:25:00

你说的这些层都是掺杂层，密度过小容易“塌”。

蛋zizi · 发表于 2020-11-27 11:07:57

hypo029 发表于 2020-11-26 21:25
你说的这些层都是掺杂层，密度过小容易“塌”。

感谢

柏林大大 · 发表于 2020-11-27 14:14:14

与制作工艺有关。密度太小影响良率。

镜饼蛙 · 发表于 2020-11-27 15:32:32

一般工艺都有密度要求, 密度交给TOP层去加, 密度太小厂商会沟通自动帮你加, 如果怕影响精度最好自己先加上

九品芝麻狐 · 发表于 2020-12-15 11:15:20

就是平坦化问题，密度过小就坑坑洼洼了

[求助] 为什么要有密度过小的DRC