低层次mom电容比高层次的电容小是什么原因？

夜冷了

typhoon222 发表于 2020-11-20 17:20
mom 中某一根线的上面就是另一根线？什么意思？

一般而言，从底层至顶层，金属层是逐渐变厚的。一般MOM 的结构，有效电容主要是侧壁电容，即M1和M1，M5和M5，因为上面的金属层厚，所以容值稍大；
同时，相邻两层也有寄生电容，比如M1到M2， M2到M3， 一般第一层排列是PNPNPN， 第二层排列就是NPNPNP，所以相邻两层也产生电容，一般来说，底层金属间的氧化层比较薄；所以这个容值会大一些；