低层次mom电容比高层次的电容小是什么原因？

typhoon222 · 发表于 2020-11-11 11:26:33

这两个电容一个2~4层，一个3~5层，模型显示电容是一样大的，但是实际版图的结点对应电容，2~4层的要小一些，可能是什么原因？
图片.jpg

castrader · 发表于 2020-11-11 14:07:49

你的M5是厚铝？

ttliu666 · 发表于 2020-11-11 19:12:29

6666666666666666666

ol0930 · 发表于 2020-11-11 19:23:04

有没有可能是于两个极板之间的距离变大了呢？
从制造工艺上来说，越往上走，绝缘层（氧化物）的厚度越大···

nanke · 发表于 2020-11-12 11:05:04

如果版图画法一样（除了你说的金属层差异），那应该是后仿参数提错了

typhoon222 · 发表于 2020-11-12 14:46:15

castrader 发表于 2020-11-11 14:07
你的M5是厚铝？

M6是厚铝

typhoon222 · 发表于 2020-11-12 15:18:32

ol0930 发表于 2020-11-11 19:23
有没有可能是于两个极板之间的距离变大了呢？
从制造工艺上来说，越往上走，绝缘层（氧化物）的厚度越大· ...

3、5和2、4极板之间的距离是一样的

夜冷了 · 发表于 2020-11-15 23:41:28

mom 电容这个特点我也发现了，个人认为应该是考虑了氧化层的电容。因为mom 中某一根线的上面就是另一根线；

typhoon222 · 发表于 2020-11-20 17:20:09

夜冷了发表于 2020-11-15 23:41
mom 电容这个特点我也发现了，个人认为应该是考虑了氧化层的电容。因为mom 中某一根线的上面就是另一根线； ...

mom 中某一根线的上面就是另一根线？什么意思？

analog123 · 发表于 2020-11-21 22:06:22

周围走线不同？

[讨论] 低层次mom电容比高层次的电容小是什么原因？