MIM电容的底部金属（underlying metal）的作用是什么？

CWBBest · 发表于 2020-9-19 10:52:18

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就仿真结果来看110fF的mim电容在28GHz附近，有与没有底层金属，Q值表现都是一样的呀。

CWBBest · 发表于 2020-9-20 16:56:28

还是没找出区别，希望有知道的朋友能分享一下。

行三米 · 发表于 2020-9-22 14:36:12

仿真上是看不到的吧，那层金属可能是用来屏蔽衬底干扰。

CWBBest · 发表于 2020-9-22 14:41:11

行三米发表于 2020-9-22 14:36
仿真上是看不到的吧，那层金属可能是用来屏蔽衬底干扰。

感谢回复。嗯嗯，确实有可能是用来屏蔽的。这几天断断续续又观察了一些现象，暂时发现是：有无金属对Q值仅存在细微影响。

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