请教大佬，SMIC55版图中DG和TG层是干什么用的？

远方伊舟 · 发表于 2020-9-11 11:48:16

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用高压器件的时候，发现1.8V器件和2.5V器件分别比1.2V器件多了DG layer和TG layer，不知道他们具体的作用是什么？还是只是起个器件识别的作用？

843071455 · 发表于 2020-9-11 13:08:49

没有过smic的工艺，接触过类似的工艺，应该是区分管子栅氧厚度的吧，1.2v,1.8v,2.5栅氧厚度不同的，应该就是通过上面的层次区分的，当然也能起到识别器件的作用，design rule应该也会有层次的定义的可以看看。

andyfan · 发表于 2020-9-11 13:19:42

这个不仅仅是识别，GOX不一样，后续产生LDD也不一样，都是通过这个识别产生的

远方伊舟 · 发表于 2020-9-11 16:17:09

843071455 发表于 2020-9-11 13:08
没有过smic的工艺，接触过类似的工艺，应该是区分管子栅氧厚度的吧，1.2v,1.8v,2.5栅氧厚度不同的，应该就 ...

谢谢

了解了

远方伊舟 · 发表于 2020-9-11 16:59:46

andyfan 发表于 2020-9-11 13:19
这个不仅仅是识别，GOX不一样，后续产生LDD也不一样，都是通过这个识别产生的 ...

谢谢，我好像知道了。DG是Dual Gate，定义1.8V的晶体管；TG应该类似。

aibbt · 发表于 2020-9-12 10:37:00

顶顶顶顶顶顶顶顶顶顶顶顶

终章0000 · 发表于 2020-9-21 16:34:04

远方伊舟发表于 2020-9-11 16:59
谢谢，我好像知道了。DG是Dual Gate，定义1.8V的晶体管；TG应该类似。

那TG 就是Triple Gate了

AIIR · 发表于 2020-9-23 13:21:15

TG好像是3.3V器件，类似识别层

工大葫芦娃 · 发表于 2020-11-6 16:45:00

AIIR 发表于 2020-9-23 13:21
TG好像是3.3V器件，类似识别层

顶你一下

斩海之歌 · 发表于 2021-4-1 13:41:27

感谢解答

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