关于IC中电阻种类问题求助

wuhanhan8 · 发表于 2020-9-1 09:40:43

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大家好，最近在用smic55工艺做项目，看到库中有rhrpo2K以及rpposab电阻类型，sab大概明白，说是salicide block，起到阻挡salicide形成的作用，目的是增大电阻；请问一下rhrpo电阻是多了一个什么层吗？其原理目的是什么呢？谢谢！

winningzhong · 发表于 2020-9-1 13:38:34

应该是多加一次注入来影响阻值

wuhanhan8 · 发表于 2020-9-1 14:04:21

winningzhong 发表于 2020-9-1 13:38
应该是多加一次注入来影响阻值

哦哦，好的，谢谢！

winningzhong · 发表于 2020-9-2 10:41:21

送佛送到西

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