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[求助] 关于poly电阻(tsmc工艺)

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发表于 2020-7-29 07:49:17 | 显示全部楼层 |阅读模式
500资产
本帖最后由 cc921008 于 2020-8-3 09:21 编辑

关于tsmc工艺库的电阻有个疑问,请教熟悉Device的小伙伴们
Poly resistor. tsmc .18 bcd提供1k和3k的poly resistor。其中3k的模型中有个2端口的模型,和一个3端口的模型。layout显示3端口的模型中多了一层nwell。Design manual中说“For the poly resistors, the capacitance of poly to filed oxide (STI) is also taken into account in this 3T-resistor macro model” and “The equivalent circuitry is similar to that of diffused/ ion-implanted resistors. The capacitance is distributed into five pieces to model the AC effect of poly resistors.”
所以我感觉3k3端口模型是这样子的。STI在下面,上面通过5个cap连到poly上。
image.png
然后我的问题
1. 它的耐压是多少。它是属于1.8V/5V的device,是指1端到2端的耐压是1.8/5V么?如果没有pn结的话3端对1,2端的耐压应该也是1.8V/5V么?
(我现在做法是把3端接到1或2中电压高的一侧不知有没有问题。。)
2. 1端或2端能不能接到高压上(能不能floating),例如70V,同时保持1和2之间电压差在5V,这样电阻耐压有没有问题呢?因为还有一种HV电阻,像HVNW电阻。如果最高电位是70V选个(1和2两端)耐70V的HVNW电阻应该就可以。但它的温度特性差。所以我想知道Poly电阻可不可以floating。
(我想的是poly电阻没有sub,是不是就可以接个高压只要保证流过电阻两端的电压差在5V以内就可以了。。)
image.png
感谢感谢!!

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1,你这个1.8/5V指的应该是POLY(1,2)与下面NW(3)之间的耐压吧。这个NW一般直接接电阻两端(1,2)中的高电位,这种情况也可以说是port(1,2)之间的耐压了。 2,POLY电阻接高压要看你POLY下面HVNW与Psub之间抗不抗的住70V了。 =》其实POLY电阻耐压可以这样看:两端的耐压(即电阻长度)也可以看POLY能承受的电流与栅氧层耐压;是否可以接在高压环境要 iso Well与sub的耐压 ...
发表于 2020-7-29 07:49:18 | 显示全部楼层
1,你这个1.8/5V指的应该是POLY(1,2)与下面NW(3)之间的耐压吧。这个NW一般直接接电阻两端(1,2)中的高电位,这种情况也可以说是port(1,2)之间的耐压了。
2,POLY电阻接高压要看你POLY下面HVNW与Psub之间抗不抗的住70V了。

=》其实POLY电阻耐压可以这样看:两端的耐压(即电阻长度)也可以看POLY能承受的电流与栅氧层耐压;是否可以接在高压环境要 iso Well与sub的耐压
 楼主| 发表于 2020-8-3 09:18:53 | 显示全部楼层
本帖最后由 cc921008 于 2020-8-3 09:20 编辑

明白了!感谢回复。 还有个疑问,我之前看poly电阻有哪些层,用到的这个rppolyhri3k_dis电阻写的没有HVNW这层。是不是指对于poly电阻HVNW这层加与不加是layout决定,不是SPICE模型默认的,所以才写的没有呢?我自己layout加一层HVNW加一圈N+ iso70的就可以接高压了吧~谢谢!




发表于 2020-8-3 11:08:14 | 显示全部楼层
本帖最后由 470581030 于 2020-8-3 11:31 编辑

重复了,不好意思
发表于 2020-8-3 11:12:18 | 显示全部楼层
poly下面加hvnw只是影响了电阻耐压,并不影响方块阻值。poly下面有n的电阻工艺文件中会有电阻两端的击穿电压,体区到n的击穿电压,n到sub 的击穿电压,体区到sub的击穿电压。下面的n个人觉得好像接高还是低没有区别吧,有没有前辈指点下,分享下经验?
发表于 2020-8-3 14:41:57 | 显示全部楼层


cc921008 发表于 2020-8-3 09:18
明白了!感谢回复。 还有个疑问,我之前看poly电阻有哪些层,用到的这个rppolyhri3k_dis电阻写的没有HVNW这 ...


是的。(不过POLY是否需要画在隔离环内不该是设计考虑的吗)
发表于 2022-4-7 16:22:44 | 显示全部楼层


hx123 发表于 2020-7-29 07:49
1,你这个1.8/5V指的应该是POLY(1,2)与下面NW(3)之间的耐压吧。这个NW一般直接接电阻两端(1,2)中的 ...


大佬,为什么当电阻长度小时,仿真会报warning说电阻耐压不够5V呢
发表于 2022-4-15 15:59:48 | 显示全部楼层
您好,换句话说,是否是两端的电阻模型不包含多晶硅到场氧的寄生电容,三端的电阻模型才包含寄生电容。
发表于 2023-1-30 18:26:56 | 显示全部楼层


y_potato 发表于 2022-4-15 15:59
您好,换句话说,是否是两端的电阻模型不包含多晶硅到场氧的寄生电容,三端的电阻模型才包含寄生电容。 ...


你可以看一下model文件。我的理解是的确是这样子的
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