22nm Gate Last Finfet Process Flow

wardwood1028 · 发表于 2023-4-2 20:37:09

谢谢了！

小李子2333 · 发表于 2023-5-30 00:34:13

可以参考一下温德通的《集成电路制造工艺与工程应用》，这个材料比较老了

jingle1020 · 发表于 2023-5-31 17:19:32

楼主良心，又便宜又清晰

Daniel_Wu · 发表于 2023-6-21 16:49:46

thanks

你是小纯洁 · 发表于 2023-7-20 13:41:55

thanks

infortrans · 发表于 2023-7-25 08:20:12

路过，学习一下。谢谢分享！

NOIR4LU · 发表于 2023-8-9 19:29:48

学习一下，

wangben · 发表于 2023-9-27 08:56:53

非常感谢

liu279909175 · 发表于 2023-11-15 14:34:33

挺不错的,LZ真棒

chimo2000 · 发表于 2024-1-3 13:15:46

这个貌似更新版，比论坛里另一个的22nm的时间跟现在更接近，还外加了SOI部分，不错

[资料] 22nm Gate Last Finfet Process Flow