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查看: 2210|回复: 2

[求助] Wafer 表面微量元素分析方法？

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zhouyang123
发表于 2019-12-18 13:13:28 | 显示全部楼层 |阅读模式
50资产
除了SIMS有没有更好更精确的分析手法针对于wafer表面的微量元素（P/B）？
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发表于 2019-12-18 13:53:56 | 显示全部楼层
ICP MASS
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zhouyang123
 楼主| 发表于 2019-12-23 11:17:02 | 显示全部楼层


芯芯还是芯芯 发表于 2019-12-18 13:53
ICP MASS


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